羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從吸氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時(shí)，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。

      羅茨真空泵的   大優(yōu)點(diǎn)是：在較低入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率，但它不能單獨使用，   有一臺前級真空泵串聯(lián)。待被抽系統中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時(shí)，羅茨真空泵才能開(kāi)始工作。并且在一般情況下，羅茨泵不允許高壓差時(shí)工作，否則將會(huì )過(guò)載和過(guò)熱而損壞。

      羅茨泵在泵腔內，有二個(gè)"8"字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉運動(dòng)。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有   的間隙，可以實(shí)現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無(wú)內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的   真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的   真空。為了提高泵的   真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。